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Single Side
Single Side
- Polishing :
- Wafer 및 Substrate의 우수한 평탄도 와 표면조도를 요구 시 양면 및
단면 Polishing 정반회전수, 압력, Slurry, Pad 최적조건 연마 공정.
( Silicon, Glass, Quart, SiC, Shapphire, Ceramic etc )
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